兆声波清洗机(Megasonic Cleaner)利用换能器发出兆赫级高能声波,器件表面的微米、亚微米级杂质颗粒在受到液体兆赫频率的震荡作用后脱落,从而实现超精密清洗。兆声波清洗不会产生强烈的空化效应,可以避免在清洗过程中造成对清洗对象表面的损伤与污染物残留。
具体应用场景包括:
1.晶圆、液晶等微细颗粒的去除,清洗精度可达到300nm,最大可清洗400mm*400mm的基板;
2.光学元件的清洗干燥,比如: 适用于透镜、棱镜、显微镜等光学玻璃的清洗;
3.光学玻璃清洁触摸屏、ITO玻璃等镀膜前、钢化前后以及抛光前的清洁。
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