兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于200nm的粒子,具有超声波无法比拟的颗粒去除效果
DT-CL2000的兆声波清洗抛光片可去掉晶片表面上小于300nm的粒子,具有超声波无法比拟的颗粒去除效果。
具体应用场景包括:
1.晶圆、液晶等微细颗粒的去除,清洗精度可达到300nm,最大可清洗400mm*400mm的基板;
2.光学元件的清洗干燥,比如: 适用于透镜、棱镜、显微镜等光学玻璃的清洗;
3.光学玻璃清洁触摸屏、ITO玻璃等镀膜前、钢化前后以及抛光前的清洁。
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