等离子热蒸发真空箱(vacuum evaporation) 可用于半导体IC领域、汽车制造行业、医疗行业、航天航空行业、手机制造行业，微电子行业等。

其最大的特点是将清洗功能与镀膜功能合二为一。

一、可用于清洗产品表面污染物。

1.金属表面油脂油污等有机物和氧化层、结构表面残胶；

2.触摸屏、ITO玻璃在进行镀膜、键合、钢化及抛光的清洗；

3. PVD和CVD涂覆前用等离子处理得到完全清洁和无氧化层的表面清洗提高表面活性、增强粘附性等。

二、可用于多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等，清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染。

产品主要技术参数