晶圆缺陷检测仪

缺陷检测仪（Automatic Defect Inspection Instrument）是一款用于晶圆缺陷扫描和显微镜观察的设备。针对GaN功率器件和HB GaN LED应用，可以检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN和SiC基GaN等外延片的表面和荧光缺陷，最小检测颗粒尺寸81nm，还可区分颗粒(particle)、凹坑(pit)、凸起(bump)、划伤(scratch)、污点(stain)、裂纹(crack)、PL 黑点、PL scratch、PL crystal 缺陷等表面及荧光缺陷。