缺陷检测仪(DT-AI2000)

DT-AI2000是针对GaN/SiC外延、Si、玻璃基等材料的缺陷检测仪器,可以检测并区分颗粒、斑点、凹坑、划痕和污点等缺陷。

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DT-AI2000是针对GaN/SiC外延、Si、玻璃基等材料的缺陷检测仪器,可以检测并区分颗粒、斑点、凹坑、划痕和污点等缺陷。

支持4"、6"、8"晶圆检测，具有高检测精度、高产能等优点。

产品主要技术参数

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