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工作站包括晶圆上下料、兆声清洗、匀胶、冷热板及纳米压印机构，通过机械臂实现晶圆在不同机构间的自动转运。设备集成了纳米压印的前后道工艺，能够实现从晶圆到产品的完整加工流程，功能模块还可根据用户需求进行增配或删减。
主要功能：
1. 压印模式：紫外纳米压印，支持加热；
2. 设备采用软膜作为模板基材，模板通过张力机构撑平且张力可调节；
3. 曝光光源为365nm紫外LED光源，光照强度高，光强分布均匀；
4. 压印均匀性和深宽比高；
5. 设备配置4套高效FFU过滤网，内部洁净度达到百级或以上；
6. 设备配置控制软件。可保存不少于50组工艺参数；能实现自动清洗、匀胶、压印、曝光和脱模，且各工艺参数均可调节。
主要参数：
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